走査型電子顕微鏡-ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型X線分光法の原理 | イビデンエンジニアリング

X-0001

走査型電子顕微鏡‐エネルギー分散型X線分光法の原理

Scanning Electron Microscope-Energy Dispersive X-ray Spectrometry, SEM-EDX

■原理
走査型電子顕微鏡(SEM)においては、虫眼鏡(凸レンズ)で太陽の光を1点に集束するように、電子レンズを使って電子線を微小径に集束し、試料の上に照射します。この入射電子ビームを試料上で走査(電子線でなぞって試料の線・面の情報を得る)させ、試料から放出される二次電子像(主に試料表面の微細な凹凸像)及び反射電子像(組成像:平均原子番号・結晶方位に依存)を検出することで像を得る顕微鏡です。EDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。


■測定事例
※工事中

■その他の事例(サイト内リンク)
◆石材の変色原因調査 ◆金属中の変色調査 ◆電子基板上の微小異物の分析 ◆表面分析による部品の劣化原因調査

■用途例
◆プリント基板、メッキ製品、セラミック等の表面形態観察
◆各種製品、異物の観察像の組成分析、元素分布状態分析

■Q＆A
Ｑ１：長所と短所を簡単に教えてください。Ａ１：長所⇒光学顕微鏡に比べ焦点深度が大きく、高倍率で立体的な像が得られます。　　　短所⇒導電性がない試料は表面に電荷が溜り、鮮明な像が得られないので金属やカーボ　　　　　　ンを蒸着し導電性の付与が必要となります。ただし、低真空モードの反射電子像　　　　　　で観察することで蒸着することなく観察が可能な場合があります。Ｑ２：切断することなく観察可能な試料の大きさはどれぐらいですか？Ａ２：φ10 、高さ2 cmまでは問題なく観察できます。それ以上の大きさでも可能な場合が　　　ありますのでご相談ください。Ｑ３：拡大倍率は何倍まで可能ですか？Ａ３：試料にもよりますが、汎用SEMで500010000倍、FE-SEMで50000100000倍　　　となります。Ｑ４：XRF-EDXとSEM-EDXの違いはどんな点がありますか？Ａ４：XRF-EDXは重元素を得意としているのに対してSEM-EDXは軽元素を得意として　　　います。　　　また、SEM-EDXでは拡大して測定部位を決めることができ100 μm以下の大きさの　　　ものでも分析が可能です。

一覧に戻る