オスミウムコートの原理 | イビデンエンジニアリング

X-0028

オスミウムコートの原理

Osmium Coat

■原理
導電性のない試料のSEM観察には、帯電を防ぐためのコーティングが必要です。オスミウムコーターは、真空チャンバー内に酸化オスミウムガスを導入し、放電によりプラズマ化させることで、試料にオスミウムをアモルファス(非晶質)コーティングします。オスミウムをコーティングすることで、白金やカーボンでのコーティングに比べ、より高倍率で微細な構造の観察が可能になります。
<オスミウムコートのメリット> 1.オスミウムは粒状にならず、高倍率でのSEM画像が撮影できる。 2.触媒など白金を含む試料の元素分析ができる。 3.オスミウムが硬い保護膜となり、生体試料など熱に弱い試料のSEM画像が撮影できる。 4.帯電による影響のない高品質な SEM画像が撮影できる。 5.帯電しやすい試料の画像撮影に掛かる時間が短縮できる。(30分⇒5分/検体) 6.硬い保護膜により、TEM用試料の作成に必要な保護膜を容易に形成することができる。
<コーティング状態の比較>

<品質の比較>

<EDX分析への妨害低減>


■用途例
◆熱ダメージなくメンブレンフィルターに捕集した異物を観察するための前処理 ◆生体等の熱に弱い試料の観察前処理 ◆複雑な試料の観察前処理(オスミウムの回り込みが良いため)

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