FE-SEMによる微小粒子の受託観察 | イビデンエンジニアリング

A-0003

微小粒子の形態観察

電界放出形電子顕微鏡(FE-SEM)

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)は、汎用SEMでは観察不能な1万倍以上での拡大観察が可能です。また、同じ倍率なら汎用SEMと比べ、低加速電圧で観察が可能なため、試料ダメージが低減できます。

■分析概要
3種類の試料をカーボンテープに固定し、FE-SEMで観察を行いました。メチルシリコンパウダーニッケルパウダー焼結珪藻土

■分析結果
⇒Fig.1 のメチルシリコンパウダーは、　5μm程度のコンペイ糖状の形状をした　物質であることがわかりました。
Fig.1 MSP-AK06の観察(例)

⇒Fig.2 のニッケルパウダーは、3μm程　度の大きさで表面がスパイク状となった物質であることがわかりました。
Fig.2 ニッケルパウダーType123の観察(例)

⇒Fig.3 の焼結珪藻土は、円盤状の形状をしており、1μm程度の小孔が多数観察されました。
Fig.3 焼結珪藻土の観察(例)

条件次第で、最大20万倍程度までの拡大観察が可能です。元素分析用のEDXを備えており、元素分析も可能です。その場合、最高倍率は5万倍程度となります。
※MSP-AK06及びニッケルパウダーType123は、日興リカ株式会社様にご提供いただきました。

■用途例
◆電子基板、セラミック、樹脂、金属

石綿(アスベスト)調査、信頼性試験､土壌分析はイビデンエンジニアリングへ