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B-0002
電子基板に付着した異物の分析
フーリエ変換赤外分光光度法(FT-IR)
・顕微鏡観察及び採取するときに、基板上の 異物には粘着性があることが確認されまし た。
・FT-IR分析の結果以外に、異物の外観や感触 は化合物推定の重要な手がかりとなりま す。
・マイクロサンプリング(機械アームをマウス で操作して採取する方法)は、先端がピン セット、プローブ、ピーラー、カッターな どの多種類のタイプを保有しており、用途 に合ったものを選択して使用します。
・マイクロサンプリングにより、異物は30μm 程度の大きさから採取可能です。
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異物の問題でお困りのお客様は、気軽にお問合せください(相談無料)。
弊社技術者が直接御打ち合せさせていただき、問題解決の道筋をご提案します。
・顕微鏡観察及び採取するときに、基板上の
異物には粘着性があることが確認されまし
た。
・FT-IR分析の結果以外に、異物の外観や感触
は化合物推定の重要な手がかりとなりま
す。
・マイクロサンプリング(機械アームをマウス
で操作して採取する方法)は、先端がピン
セット、プローブ、ピーラー、カッターな
どの多種類のタイプを保有しており、用途
に合ったものを選択して使用します。
・マイクロサンプリングにより、異物は30μm
程度の大きさから採取可能です。
アクリル樹脂はテープの粘着層などに使用されることから、異物はテープの粘着層が付着したものであると推定されました。
◆電子基板に付着した異物の分析
それよりも小さい場合(30μm 程度)でも、マイクロサンプリング(機械アームを使って
異物を採取する方法)にて採取することで測定可能です。さらに30μm以下の異物で
も、サンプルの状態に応じて最適な分析方法を提案させていただきます。
真、予想物質)などをいただけるとスムーズに提案できます。
粘着テープに付けて採取されますと、粘着剤が測定を妨害する可能性があります。
採取が困難な場合は、試料採取方法からお問合せください。
ヒットしない場合、特定に至らない場合もございます。
報告書には、特定した化合物の一般的な用途を記載致します。
物質もご提供いただければ正確に比較することが可能です。
お急ぎの場合は、可能な限りご要望にお応えします。
別途、特急料金をいただく場合もございます。
リングにより採取を行い、顕微透過法による測定を行います。
深さがある場合や径が小さい場合は、ミクロトームなど断面切削を行って薄片を
作製し、測定を行います。その他にnanoIR、TOF-SIMS、顕微ラマンによる測定
も可能ですが、埋没状態によってはできない場合もあります。サンプル状態により
最適な分析方法が異なりますので、まずは気軽にご相談ください(相談無料)。
樹脂上の異物であれば、採取を行い測定を行います。異物の大きさが小さい
(30 μm以下)場合は、FT-IR法以外の分析方法にて分析のご提案をさせていた
だきます。サンプル状態により最適な分析方法が異なりますので、まずは気軽
にご相談ください(相談無料)。