SEM-EDXによる基板上微小異物の受託分析 | イビデンエンジニアリング

B-0003

電子基板上の微小異物の分析

走査型電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分光法(SEM-EDX)

精密機械に使用される電子基板においては、微小な異物も、発生しないための対策が必要です。異物の観察だけでなく、観察部の元素分析を行うことで、異物についての情報を得ます。電子基板の異物分析に長けた技術者が直接お客様のご相談に対応し、迅速に問題解決の提案をさせていただきます(相談・見積もり無料)。

■外観写真・分析概要
異物分析には、SEM-EDX、EPMA、XRF、FT-IR、ラマン分光法など多様な測定方法があります。異物が主に無機物主体と予想される場合はSEM-EDX、EPMA、XRF、有機物主体と予想される場合はFT-IR、ラマン分光法を用いて分析を行います。無機物・有機物の予想がつかない場合は、STEP１として、SEM-EDXにて異物の元素組成を調べることで無機物か有機物かの判断をすることができます。また、SEM-EDXでは電子顕微鏡での観察により、微小な部位の元素分析が可能であり、異物分析において非常に有効な分析手法です。


Fig.1 観察前処理


Fig.2 PKG基板のバンプ部(X190)

■分析結果
局部の異物を狙って元素分析を行い、構成元素とその大まかな割合の情報が得られました。(Fig.3)

Fig.3 EDX分析結果

■実績
◆セラミック素子の異物分析 ◆金属異物分析 ◆フィルター捕集異物分析

■Q&A
Q 1 : 切断することなく観察可能な試料の大きさはどれぐらいですか？Ａ１：φ10cm、高さ2cmまでは問題なく観察できます。それ以上の大きさでも可能な場合がありますのでご相談ください。Q 2 : 拡大倍率は何倍まで可能ですか？Ａ２：試料にもよりますが、汎用SEMで5000～10000倍、FE-SEMで50000～100000倍となります。 Q 3 : 納期はどれくらいですか？Ａ３：ご依頼後、10営業日程度でﾒｰﾙ速報差し上げます。追加料金が発生する場合もございますが特急納期対応もしますので、お気軽にお問合せください。 Q 4 : 複数検体を依頼の場合は費用はどうなりますか？Ａ４：数量に応じたお値引きも検討しますので、お気軽にお問合せください。

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