C-0003

SiCの不純物分析

波長分散型蛍光Ｘ線分析法(XRF-WDX)

　波長分散型蛍光X線分析による含有元素の定性及び半定量を行うことで、SiC中の不純物の元素とそのおおよその量を確認することができます。なお、更なる正確な定量には、ICP発光分析法による分析が必要となります。
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Fig.1 分析方法の選び方
■外観写真・分析概要
　粉末状のSiCに対して、バインダーを用いてプレス成型を行い、試料ホルダーにセットして、蛍光X線分析を行いました。
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Fig.2 測定前処理
■分析結果
　蛍光Ｘ線の分析結果から、SiC粉末には不純物としてAl、P、S、Ca、Fe、Niが含まれることが分かりました。
Table1 SQX分析結果
SQXbunsekikekka SiCfunmatu teiseibunsekitya-to
Fig.3 定性分析チャート
■用途例
◆触媒の元素分析、セラミックの元素分析、ススの元素分析等
■Q＆A
Ｑ１：SQX分析法とは何ですか？
Ａ１：SQX(Scan Quant X)分析は定性分析で検出された成分について、標準試料を用いずに
半定量値を算出するFP(ファンダメンタルパラメータ)法を用いた分析プログラムです。

Ｑ２：試料の状態・形状に制約はありますか？
Ａ２：固体に対応可能です。多少のガス・水分は問題ありませんが、液体試料は対応不可
です。

Ｑ３：分析にはどのぐらいの試料量が必要ですか？
Ａ３：1 ｇ以上必要ですが、それ以下でも対応可能な場合がありますのでご相談ください。

Ｑ４：バインダーなしでプレス成型は可能ですか？
Ａ４：試料により可能な場合がありますのでご相談ください。

Ｑ５：定量下限はどれぐらいですか？
Ａ５：元素によりますが、0.01％から0.1 %程度が定量下限となります。

Ｑ６：測定できない元素はありますか？
Ａ６：RhをX線の発生源に用いていますのでRhは測定できません。また、Rhに近い元素も
測定できない元素があります。詳細は、X-0006 波長分散型蛍光X線分析法の原理の
<XRF-WDX測定対象元素>をご参照ください。

Ｑ７：軽元素の分析は可能ですか？
Ａ７：軽元素分析用の分光結晶を用いることで、BからUの元素の検出が可能です。ただし、
バインダー(成分はCとO)を用いた場合は、CとOは定量対象外となります。

Ｑ８：波長分散型蛍光Ｘ線分析より定量精度の高い分析は可能ですか？
Ａ８：湿式分析(ICP-AES・ICP-MS等)にて対応しております。
　　　※更なる正確な定量には、ＩＣＰ発光分光分析法による分析が必要となります。

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