ICP-AESによるSiCの不純物受託分析 | イビデンエンジニアリング

C-0009

SiCの不純物分析

ICP発光分光分析装置,燃焼重量補正法

■分析概要
SiC(炭化ケイ素)は、シリコンカーバイドと呼ばれ、その優れた動作特性から主に半導体関連材料としてエレクトロニクス機器などに使用されている。また近年、ディーゼル車の排出する煤塵の集塵用フィルター(DPF)材料としての用途が急拡大されている。

■分析事例
炭化ケイ素(SiC)の認証標準物質であるJCRM R 021を加圧酸分解し不純物であるAl、FeをICP発光分光分析装置にて測定します。遊離けい酸を中和滴定法、遊離炭素を燃焼重量補正法で測定します。不純物を測定することで純度を確認します。
Fig.1JCRM R 021


Fig.2日本セラミックス協会認証標準物質 JCRM R 021炭化けい素(ファインセラミックス用) 認証書

■分析結果
化学的に非常に安定なSiCを水溶液化してAl,Feを測定。標準物質の測定結果は良好でした。

Table 1 分析結果まとめ


■用途例
◆SiC微粉・粗粉の純度分析 ◆SiC焼成体の純度分析 ◆SiC接着材の純度分析

■関連規格
◆JIS R 1616　ファインセラミックス用炭化けい素微粉末の化学分析方法 ◆JIS R 6124　炭化けい素質研削材の化学分析方法

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