C-0010

SiC中の有害元素分析

ICP質量分析装置,還元気化原子吸光光度計

■分析概要
　SiC(炭化ケイ素)は、シリコンカーバイドと呼ばれ、その優れた動作特性から主に半導体関連材料としてエレクトロニクス機器などに使用されています。また近年、ディーゼル車の排出する煤塵の集塵用フィルター(DPF)材料としても使用されています。
■分析事例
　炭化ケイ素 (SiC) の認証標準物質であるJCRM R 021を
加圧酸分解し、有害元素であるCr (クロム)、Pb (鉛)、
Cd (カドミウム)、Hg (水銀) をICP質量分析装置及び
還元気化原子吸光光度計にて測定します。		 JCRM R 021
　　　　　　　　　　　　　　 Fig.1 JCRM R 021
nihonseramikkusukyoukaininsyouhyoujyunbussituJCRM R 021tankakeisoninsyousyo
Fig.2日本セラミックス協会認証標準物質 JCRM R 021炭化けい素(ファインセラミックス用)
認証書
■分析結果
　標準物質のCrの測定結果は良好でした。
Table 1 分析結果まとめ
SiCbunsekikekkamatome
■注意事項
　測定対象試料について、弊社では、製品ではなく原料としてのSiC粉末もしくは粉末化できる焼成体を分析対象としております。
■用途例
◆SiC焼成体の有害元素分析
◆SiC接着材の有害元素分析
■関連規格
◆JIS R 1616 ファインセラミックス用炭化けい素微粉末の化学分析方法
◆JIS R 6124 炭化けい素質研削材の化学分析方法

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