分析ジャンル別
評価・計測・信頼性試験
環境分析
●極表面(100nm) | |
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表面分析法比較事例 |
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SiC表面の酸化膜厚測定(TEM) |
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銅パターンの表面および深さ方向分析(AES) |
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銅パターンの表面分析(TOF-SIMS) |
●表面(1um)および断面 | |
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基板に付着した異物(FT-IR) |
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樹脂・ゴムの劣化分析(FT-IR) |
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多層フィルムの観察と材料評価(FT-IR) |
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炭素材料評価(ラマン分光法) |
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電子基板の平面研磨 |
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電子部品・はんだの観察 |
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石材の変色原因調査(SEM-EDX) |
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金属の変色調査(SEM-EDX) |
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岩石の組成マッピング分析(FE-EPMA) |
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FT-IRによる多層フィルムの断面解析 |
●極表面(100nm) | |
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鱗の観察による魚齢の推定 |
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金属顕微鏡によるはんだの観察 |
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基板銅層断面の結晶粒の観察(FIB-SIM) |
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微小粒子の形態観察(FE-SEM) |
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電子基板の観察(FIB-STEM) |
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微小粒子観察(STEM) |
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各種紙製品の表面観察(SEM-EDX) |