波長分散型蛍光X線分析法の原理 | イビデンエンジニアリング

X-0006

波長分散型蛍光X線分析法の原理

X-ray Fluorescence Spectroscopy-Wavelength Dispersive X-ray Spectrometry, XRF-WDX

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■原理
試料にX線を照射して発生したさまざまな波長の蛍光X線を、スリットで平行にして分光結晶に一定角度で入射させ、結晶の角度を連続的に変化させて検出器で逐次回折X線強度を測定します。回折角θを横軸に、得られたX線強度を縦軸にとって図示すると蛍光X線スペクトルが得られ、試料を構成する元素の種類や大まかな含有量を調べます。


■測定事例
DPFに堆積したAsh成分分析を実施しました。

⇒DPFに堆積した色違いのAshを分析した結果、ピンク色のAshは、燃料及びオイル成分の Ca/S/Pの割合が多く、オレンジ色のAshは、エンジンや排気管等の金属部のZn/Feが多いことが確認されました。

<XRF-WDX測定対象元素>


■その他の事例(サイト内リンク)
◆SiCの不純物分析 ◆触媒及びAshに含まれる含有元素分析 ◆ボイラー水管の堆積物分析 ◆岩石に含まれる主成分の定量分析

■用途例
◆材料の主体となる元素の分析 ◆セラミックのSi、Al定量分析(ガラスビードを作製して測定) ◆粉体の元素分析(プレス成型品を作製して測定) ◆検出下限0.01~0.1%程度で、₉F~₉₂Uの元素分析

■Q＆A
Q1:どのような形態な試料を測定できますか。 A1:粉末や測定面が平面の固体であれば測定できます。 Q2:測定できない試料はありますか。 A2:気体や液体は測定できません。(測定時に真空になるため) Q3:測定する試料の大きさに制限はありますか。 A3:φ45mm×高さ40までの大きさになります。上記の大きさ内でも重量のあるものは測定できない場合があります。また、大きな試料でも測定面が平らな場合は、切断することでそのまま測定が可能になります。 Q4:粉末は測定できますか。 A4:成型をおこなって錠剤を作成することで測定が可能です。 Q5:測定できる元素の範囲を教えてください。 A5:ＢからＵとなります。ただし、ＢＯは感度が悪く数10％ないと検出できなかったり、Ｘ線　　源としてＲｈを使用しているためその前後の元素が測定困難などあります。＿＿詳細は、XRF-WDX測定対象元素表をご参照ください。 Q6:定量は可能ですか。 A6:標準試料を測定することで検量線を作成して、定量をおこなうことも可能です。どのような標準試料を用いるのかはご相談ください。

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