高周波誘導結合プラズマ質量分析計の原理 | イビデンエンジニアリング

X-0007

高周波誘導結合プラズマ質量分析計の原理

ICP-MS

■原理

　ICPとは高周波誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)のことを言います。このプラズマは、高周波コイルに高周波を流しトーチ部に電界を発生させ、そこにアルゴンガスを流し放電させることによって生成します。温度は6000~8000Kで、この中にキャリアガスとともに霧状化した試料を導入すると、試料中の元素がイオン化します。イオン化された元素は真空排気されたインターフェイス部を通り、質量分離部にて質量/電荷数(m/z)に分離され、検出器で電気信号として質量数別にイオンカウントされます。このカウント数が、検量線作成によって得られたデータを経て、各元素の液体中の定量値として示されます。